bomba con asistencia de vacío

La bomba de cebado en seco con asistencia de vacío (también conocida como bomba mecánica seca) se refiere a que la bomba puede comenzar a bombear bajo presión atmosférica y puede bombearse directamente a la atmósfera a la cámara de la bomba sin aceite u otros medios de trabajo, y la bomba presión y bomba de vacío sellada con aceite equivalente o cerca de la bomba de vacío mecánica. La aplicación de la bomba de vacío seca es extensa, principalmente en los siguientes aspectos: 1) en el proceso de preparación de polisilicio en deposición química de vapor a baja presión; 2) Proceso de grabado de semiconductores. En estos procesos productivos se suelen utilizar o generar gases corrosivos y partículas abrasivas; 3) Además de algunos procesos que producen partículas distintas de los procesos semiconductores, no se espera que las partículas se mezclen con el aceite de la bomba, y se espera que las partículas se descarguen de la bomba, luego un cierto tipo de vacío mecánico seco. la bomba puede cumplir los requisitos; 4) En la industria química, industria farmacéutica, industria alimentaria en la destilación, secado, desespumado, envasado, etc., para evitar la contaminación causada por disolventes orgánicos, adecuado para bomba de vacío seco; 5) Se utiliza como bomba frontal del sistema general de vacío limpio sin aceite para evitar la contaminación por petróleo.